• 从元件的性能测试中可以看出,元件的特性和敏感材料的厚度、溅射功率、溅射时间以及溅射气压有关系。
• 微电子设备用耐熔硅化物溅射电极
• 铁氧体磁芯的磁控溅射金属化工艺的研究
• 磁控溅射设备通用技术条件
• 非平衡磁控溅射系统的研究
• 溅射成膜中几个问题的探讨
• 磁控溅射真空制膜技术
• 微型复合溅射离子泵的设计研究
• 磁控溅射靶源设计及溅射工艺研究
• 在薄膜溅射前,成功制备出溅射用靶材。
• 溅射理论中的硬球模型
• 所有样品采用射频辅助磁控溅射方法制备。
• 磁控溅射制备不锈钢薄膜研究
• 随着溅射功率的增大,溅射速率增大。
• 高靶材利用率的新型磁控溅射器
• 射频磁控溅射制备类金刚石薄膜的特性
• 真空溅射镀膜设备
• 磁控溅射中频电源仿真研究
• 膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制
• 磁控溅射制备五氧化二钒薄膜的研究
【词语名称】: 溅射
【词语拼音】: jiàn shè
【词语意思】: (一)、成飞散的点滴地喷或射出。(二)、由于重离子碰撞,原子或原子团从金属表面喷射出来。